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T.O.P Technische Oberflächen
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DEUTSCHLAND
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Technische
Oberflächen Pfister GmbH
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Elektropolituren
für die Hoch- und Ultrahochvakuumstechnik |
Dem
Hoch- beziehungsweise Ultrahochvakuum
ausgesetzte Flächen (Innenwände
der Kammer, Auskleidungen, Einbauten) geben
beim Abpumpen an ihnen adsorbierte Gase und Wasser an das Vakuum ab,
was zum
Teil erhebliche Pumpzeiten zur Folge hat. Zur Verkürzung der
Pumpzeiten eignet
sich (neben dem Ausheizen) vor allem Elektropolieren der in Frage
kommenden
Flächen.
Wegen der vorliegenden Problematik wird der Polierprozess so
gewählt, dass
Kavernen im Material und in der Oberfläche eingewalzte Taschen
geöffnet und
freigelegt werden. Die Ausgasungszeiten werden so drastisch verringert.
Ebenfalls wird die Reinigungsfaehigkeit der Flächen verbessert.
Ganze Kammern
mit ihren angeschweissten Stutzen, z.B. Anlagen zur
Oberflächenanalyse, werden
mit angepassten Elektroden versehen und elektropoliert.
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